Dự án

Trong sản xuất chất bán dẫn, ngay cả một lượng cực nhỏ ion kim loại, tạp chất dạng hạt hoặc chất gây ô nhiễm hữu cơ cũng có thể gây ra hậu quả thảm khốc. Những tạp chất này có thể làm thay đổi đường dẫn truyền electron bên trong chip, làm tăng điện trở, dẫn đến sinh nhiệt quá mức và giảm hiệu suất. Tạp chất cũng có thể gây ra đoản mạch và các vấn đề khác, khiến chip không hoạt động. Theo nghiên cứu liên quan, tổn thất năng suất do các vấn đề về độ tinh khiết của thuốc thử hóa học trong quá trình sản xuất chip có thể lên tới 20% - 30%, đây chắc chắn là một thách thức đáng kể đối với ngành công nghiệp bán dẫn, vốn luôn theo đuổi độ chính xác cao và sản lượng lớn.

Vai trò quan trọng của bơm truyền động từ trong đó

Trong toàn bộ quy trình sản xuất chất bán dẫn, bơm dẫn động từ đảm bảo tính liên tục của quá trình vận chuyển thuốc thử hóa học. Hoạt động liên tục và ổn định của chúng đảm bảo cung cấp kịp thời thuốc thử hóa học cần thiết cho các quy trình khác nhau, tránh tình trạng ngừng sản xuất do gián đoạn nguồn thuốc thử. Lấy quy trình lắng đọng màng làm ví dụ, cần phải liên tục cung cấp các loại khí và thuốc thử hóa học dạng lỏng cụ thể cho buồng phản ứng. Hoạt động ổn định của bơm hóa chất đảm bảo tính liên tục của quá trình lắng đọng, cho phép màng phát triển đồng đều và đảm bảo các đặc tính điện và độ tin cậy của chip.

Là một loại bơm hóa chất được ưa chuộng trong ngành công nghiệp bán dẫn, điểm nổi bật nhất của bơm dẫn động từ nằm ở thiết kế độc đáo không cần phớt cơ khí. Bơm sử dụng khớp nối từ để truyền động, trục bơm và trục động cơ tương tác với nhau thông qua lực từ mà không cần các thiết bị phớt cơ khí truyền thống. Thiết kế kín hoàn toàn này giống như khoác lên mình một "lớp áo giáp bảo vệ" chắc chắn cho thuốc thử hóa học, loại bỏ hoàn toàn khả năng rò rỉ môi trường. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, ngay cả những rò rỉ cực nhỏ cũng có thể gây ra các vấn đề ô nhiễm nghiêm trọng, và sự ra đời của bơm từ đã giải quyết hoàn hảo mối nguy hiểm tiềm ẩn này. Trong quá trình vận chuyển chất cản quang, bơm từ có thể đảm bảo chất cản quang chảy ổn định trong đường ống kín mà không bị rò rỉ, do đó đảm bảo độ tinh khiết cao của chất cản quang. Trong quá trình vận chuyển axit flohydric cấp điện tử có độ tinh khiết cao, đặc tính kín hoàn toàn của bơm từ giúp tránh hiệu quả sự tiếp xúc giữa axit flohydric và không khí bên ngoài, ngăn ngừa sự bay hơi của axit flohydric và tác hại đối với môi trường và con người do rò rỉ gây ra, đồng thời đảm bảo độ tinh khiết của axit flohydric không bị ảnh hưởng, mang lại sự đảm bảo đáng tin cậy cho các quá trình khắc tiếp theo.